A világ első ultra-nagy vákuumban működő abszolút útmérője

RenishawA RESOLUTE™ UHV (Ultra-High Vacuum)a legújabb nagyfelbontású ultra-nagy vákuum kompatibilis olvasófej a RENISHAW-tól. Abszolút mérőrendszerű pozíció visszacsatolást és mikron alatti pontosságot nyújt 1 nm-es felbontással mind lineáris, mind forgó jeladóként. Az új RESOLUTE UHV típusú jeladó tiszta, vákuum-kompatibilis anyagokból és ragasztással készül, hogy minimalizálja a gázszökés lehetőségét. Teljesítette a Maradó Gáz Analízist (RGA- Residual Gas Analysis), így bizonyítottan kompatibilis nagy teljesítményű, félvezető gyártási és tudományos alkalmazásokkal, ahol a vákuumtűrés elérheti a 10-10 Hgmm-t. (Az RGA tesztet a vákuumban maradó gázok kimutatására használják. – a szerk.)

A RESOLUTE típusú abszolút jeladókhoz hasonlóan az új, ultra-nagy vákuumhoz kifejlesztett típus bekapcsolás után azonnal ismeri a helyzetét minden elmozdulás vagy memória kiolvasás nélkül. Az instant kapcsolódás jelen esetben úgy értendő, hogy az egyes tengelyek azonnali, teljes ellenőrzés alatt vannak energiaellátási szünet után, így megszüntetve a nem kívánt, ellenőrizetlen elmozdulásokat, ütközéseket. Ez a képessége például olyan alapvető alkalmazásokban fontos, mint a félvezetőgyártás, ahol a nagy értékű félvezetők biztonságos réteg leválasztása és kezelése kritikus feladat.

Renishaw UHV Encoder

A biztonságról egy beépített, szétválasztott, integrált helyzet-ellenőrző algoritmus gondoskodik. Aktívan ellenőriz minden kiolvasást, így biztosítva, hogy bármilyen potenciális jel-probléma meg legyen jelölve, mielőtt elérne a vezérlőhöz. A RESOLUTE UHV egyszerű serial kommunikációt használ CRC-vel (Cyclic Redundancy Check – Ciklikus Redundancia Ellenőrzés), mellyel nincs szükség 1Vpp segédjelre, nagyobb a zajimmunitása és észlelhető az esetleges adatsérülés. Az eszköz serial protokollok széles választékával elérhető, mint a BiSS, a FANUC, a Mitsubishi vagy a Panasonic protokollal. A RESOLUTE UHV kompatibilis az iparban elterjedt vezérlőkkel.

Több mint egy évtizedes tapasztalattal látja el az ultra-nagy vákuum rendszereket nagy pontosságú optikai enkóderekkel a RENISHAW. Ez az egyetlen vállalat, amely nyilvánosságra hozza az RGA teszteredményeket. Minden UHV enkóder el van látva egy RFI (Radio Frequency Interference- Rádiófrekvenciás Interferencia) árnyékolt UHV kompatibilis kábellel, melyet tiszta környezetben gyártanak, és speciális csomagolásban szállítanak a szennyeződések elkerülése miatt.

A RESOLUTE UHV rendszerek egyaránt elérhetők lineáris és forgó jeladóként. Mivel a RESOLUTE rendszerek egysávos skálát használnak, ezért minden telepítés kompakt, méghozzá  széles beépítési tűréssel, hogy a gyors és egyszerű illesztés és a hosszú távú működtetés biztosítható legyen. Minden skála bevonatmentes és speciálisan tisztítható, zsírtalanítható.

A tervezők széles termékskáláról választhatnak lineáris jeladót akár rozsdamentes acélból, vagy ZeroMet™ kis hőtágulású ötvözetből, 1,13 méteren ±1µm-es pontossággal. A rögzítés lehet öntapadó, mechanikus vagy pálya-rögzítésű. A rozsdamentes acél forgógyűrűk nagy átmenő furattal és szabadalmaztatott kúpos rögzítéssel rendelkeznek, mellyel a felszerelése és az excentricitás beállítása gyors, könnyű és egyszerű, így minimalizálhatók a tengely-előkészítése költségek.

További információ:

A RENISHAW honlapja.